隨著半導體技術的演進,先進封裝技術如覆晶 (Flip-Chip)、扇出型 (Fan-out)、2.5D/3D 封裝等越來越重要,對設備的要求也更高。
以下是一些主要的封裝生產設備:
晶圓減薄機 (Wafer Backgrinding Machine):在晶片進行切割前,先對晶圓背面進行研磨,以達到所需的厚度,改善散熱效果,並有利於後續的封裝製程。
晶圓切割機 (Wafer Dicing Machine):將完成前段製程的整片晶圓,切割成單個獨立的晶片 (Die)。這類設備通常分為砂輪切割機和雷射切割機。
晶粒黏著機 (Die Bonder / Die Attach Machine):將切割好的晶粒精確地黏貼到基板或引線框架上。這需要高精度的對位和黏著技術。
打線機 (Wire Bonder):透過金線、銅線或鋁線將晶粒上的電極連接到基板或引線框架上的對應接點,建立電氣連接。
模塑設備 (Molding Machine):使用環氧樹脂或其他塑膠材料對晶片進行包覆,形成外殼,保護晶片並提供物理支撐。
錫球/凸塊植球機 (Solder Ball Attacher / Bumper):在BGA (Ball Grid Array) 或CSP (Chip Scale Package) 等封裝中,用於將錫球植入或製作凸塊,作為晶片與電路板連接的介面。
迴焊爐 (Reflow Oven):用於錫球或凸塊的迴焊製程,使錫膏熔化並凝固,形成穩固的電氣連接。
檢查與量測設備 (Inspection & Measurement Equipment):用於在各個封裝階段進行品質檢查,例如外觀檢查、尺寸量測等,確保產品符合規範。
翹曲校正機 (Warpage Correction Machine):在某些先進封裝製程中,晶圓或基板可能會因為材料特性或應力而產生翹曲,此設備用於校正其平整度。
晶片製造線
晶片封裝